当制造商或机床用户想要使用激光干涉仪检查定位精度时。这些仪器可在极短的停机时间内提供极其精确的测量。新的设备选件可进行动态测量，包括速度和加速度曲线。
激光干涉仪是业界更精确的测量仪器。至此，它们已被用作接受机床的参考测量系统。些系统现在更易于使用，大大缩短了测量时间。新的测量选项，特别是在动态测量方面，为机床诊断提供了更多的可能性。例如，动态测量选项使您能够以速度为单位记录和分析运动序列。速度和加速度也可以导出。轴的动态行为可以使用傅立叶变换进行分析。这使得激光干涉测量法能够保持其在高精度测量设备中的位置，并且在将来非常有效。
当前，尽管新标准已发布为iso230，但通常会根据标准vdi / unilog 3441接受并检查机床。但是，由于机床的用户和制造商熟悉vdi标准，因此它仍然很受欢迎。可以通过大大减少测量所需的时间来确定根据vdi / unilog 3441定位的机床的精度。在过去，在一台机器上进行所有测量可能需要几天，而目前，测量可以在几个小时内完成。减少了时间机器，降低了测量成本，从而可以更规则的间隔重复进行测量，从而确保了对精度的连续监控。
确定机床位置误差
为了设置定位误差，激光干涉仪与要作为参考系统进行测试的轴平行对齐(图2)。激光的波长用于进行测量。在干涉仪中，激光束被分为参考光束和测量光束。叠加相干波阵面以进行测量。测量基于氦氖激光器。相对于真空中测量的折射率不同，应该使用埃德伦(edlén)公式进行补偿，因为否则可能会产生较大的测量误差。该表准确地显示了在不补偿波长的情况下影响精度的影响因素。显然，材料的热膨胀系数影响测量值的结果的幅度是所有其他参数的10倍之多。表中的值表明，补偿材料的热膨胀至关重要。显然，精确确定环境参数对于系统精度有多重要。为了校准压力和温度传感器，新的雷尼绍补偿单元xc-80将记录在传感器中的变化存储在校正表中，以实现最大可能的传感器精度。
它可以使光束激光束在水平和垂直方向上以每分钟35 mm的速度偏转，因此不需要在激光头中对准光束倾斜度，只需在两个反射镜之间的测量范围内对准光束即可。因此，不再需要将透镜移动到光束对准的上方和下方。雷尼绍激光头xl-80非常小，因此不需要三脚架，因为可以使用磁性底座将其放置在机器的工作台上。测量配置的这种简化允许在不到一分钟的时间内对准光束。
为了验收或验证机器，要验证的轴将根据所选的测试方法以定义的顺序移动到各个位置。激光干涉仪系统记录当前位置并保存可能的变化。测量的结果是vdi3441的图形系列，其中包含松弛度，离散度和定位精度的信息。由于位置误差的松弛或变化被称为“系统误差”，因此在某种程度上可以使用控件的某些参数进行补偿。分散的随机误差是由无法系统消除的影响引起的。
对于“线性”方法，很容易创建数控程序。但是，缺点是某些点是在非常大的时间间隔内测量的，热影响可能会错误地解释为分散。“摆锤”方法的优点是在每个位置以连续的顺序执行多次测量。由于增加了cnc编程的工作量，因此与“线性”方法相比，这种类型的测量在过去不那么频繁。但是，由于可以自动创建激光器的程序cnc软件，因此摆锤的方法现在变得越来越重要。确定职位变动后，激光软件可以创建校正主轴通过系统误差所需的参数列表。根据控制类型，有时可以直接传输补偿数据。立即进行的后续测量表明补偿成功。
机器评估的新可能性
具有动态测量干涉测量功能的系统扩展为机床评估提供了新的可能性。例如，可以记录和分析以前进速度定义的运动序列。与速度和加速度相关的配置文件使我们可以得出有关指南质量的结论。
可以使用傅立叶分析来评估振动的行为。动态测量涉及用高频数据测量激光，从而以这种方式表示激光光学系统的移动顺序。可以通过不同的方式激活测量。最简单的选择是根据时间激活。在这种情况下，激光干涉仪记录的数据会在一段时间内以恒定频率在您的pc上读取。系统频率的最大值为几khz，该范围涵盖了确定机床自然频率的相关范围。使用机器系统的挡板激活外部可以在机器轴和作为参考位置传感器的干涉仪激光器之间建立直接关系。这种激活方法允许动态比较“
可以通过位移/时间，速度/时间或加速度/时间的形式的图表来评估测量结果。该软件的开发还可以进行傅立叶变换以创建频谱。这产生了用于动态验证机床的新的测量方法。
需要进行一致性评估，以使轴移动以在其移动范围内以位移速度测量定义的常数。激光干涉仪记录该运动并以图形方式表示。图形速度/时间使用速度曲线来突出显示速度单位中的不规则性。这些变化可能是由导向装置或牵引轴上的阻力或保护装置的摩擦引起的。
定位测试提供有关单位近似行为的信息。数控程序用于完成两个位置之间的特定路径。激光干涉仪代表了这一运动。位移/时间图形表示当轴接近位置目标时，如果超过该位置(例如，轴移动太远)，则他稍后会收回目标位置，或者到达没有进行手部矫正的位置。
